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黑龙江真空镀膜系统价格常用解决方案

更新时间:2020-07-07 14:10:36
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真空镀膜机镀制薄膜不均匀的解决方法


制的薄膜的均匀性都会受到某种因素影响。真空状态需要抽气系统来控制的,每个抽气口都要同时开动并力度一致,这样就可以控制好抽气的均匀性,如果抽气不均匀,在真空室内的压强就不能均匀了,压强对离子的运动是存在一定的影响的。另外抽气的时间也要控制,太短会造成真空度不够,但太长又浪费资源,不过有真空计的存在,要控制好还是不成问题的。

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蒸发镀膜

一般是加热靶材使表面组分以原子团或离子形式被蒸发出来。厚度均匀性主要取决于:

1、基片材料与靶材的晶格匹配程度

2、基片表面温度

3、蒸发功率,速率

4. 真空度

5. 镀膜时间,厚度大小

组分均匀性:蒸发镀膜组分均匀性不是很容易保证,具体可以调控的因素同上,但是由于原理所限,对于非单一组分镀膜,蒸发镀膜的组分均匀性不好。

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真空镀膜设备的日常维护

真空镀膜设备的运行状况直接影响生产工艺、产品质量和生产进程等,为了使设备的运行状况良好,必须建立和完善设备的维护与维修制度、维护内容、维修标准等。

设备的维护要有日常维护和定期维护

1,日常维护就是在当天生产中发现设备有不良迹象,就马上解决。发现机械泵的油少了就要添加,不要认为这油是定期更换的,等到了时间再维护,到时候可能泵的转子就会磨损严重了。再比如工件转架的轴承有些卡,真空镀膜系统价格,就要更换轴承,而等到它彻底的坏了再换,问题可就大了,可能引起转架电机烧毁等现象。

2定期维护,有人会问有了日常维护还有必要定期维护吗?其实每一种设备都有自己的使用寿命,比如扩散泵用的的硅油,使用寿命为两年左右,我就规定1年半把它换掉,这样作是不是浪费,我觉得不浪费,从设备服务于生产来说是值得的,老板不希望看到的是机器在生产阶段出现问题。只要你把日常维护和定期维护做好了,在延长设备寿命的同时,生产过程中出现故障的几率也大大降低。生产效率也提高了。

3,设备保养和维修1重要的是讲究“细心”,每一个人都力求做到“我办事,你放心”,也就是说我做的事情不需要别人和自己再有怀疑!做好这一点可少走好多弯路,其次是要善于分析现象,不能盲目的拆卸。说到这里,很多人都遇到过真空方面的漏气问题,真空部分出现了问题很麻烦,再加上我们公司没有检漏仪,这就要分阶段来找。

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