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真空热蒸发镀膜工艺

OLED器 件需要在高真空腔室中蒸镀多层有机薄膜和金属电极，薄膜的质量关系到器件质量和寿命。在有机真空腔室中设有多个放置有机材料的蒸发舟，加热蒸发舟蒸镀有机 材料；在金属真空腔室中设有多个放置金属电极的蒸发舟，金属蒸发舟常采用钼、钽和钨等材料制作，电极材料有Mg/Ag、Mg:Ag/Ag、Li/Al、 LiF /Al等，通常是使用低功函数的活泼金属。ITO玻璃基板放置在可加热的旋转样品托架上，其下面放置的金属掩膜板控制蒸镀图案，并利用石英晶体振荡器来控 制膜厚。

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惰性气体手套箱分为三种

A）真空手套箱：在操作前，对整个箱体抽真空，把箱体内空气完全抽掉，然后充上高纯气体即可使用。优点：设备便宜。缺点：水氧杂质含量高，通常在100PPM以上。

B）清洗手套箱：对手套箱进行连续通氮气，不间断地把泄漏入手套箱内的气体杂质清洗出手套箱。优点：设备便宜。缺点：运作成本高，需要消耗大量的惰性气体。水氧杂质含量通常在10PPM以上。

C）循环手套箱：手套箱带有气体净化气体，手套箱内的气体不间断地循环过气体净化系统把水氧和有机1溶剂杂质除去。优点：运作成本低，水氧含量低，手套箱专用氧分析仪，通常小于1PPM；含PLC和触摸屏，功能多。缺点：设备价格较高。

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亚克力手套箱产品概述

手套箱主要解决在日常的实验室中会遇到物料的储存，防尘，防水，手套箱专用氧分析仪公司，隔氧等一系列隔离要求，将手套箱内的环境置换成惰性气体稳定环境便可解决此类实验的需求.

工作方式: 亚克力手套箱将箱体内的空气置换或者抽出，手套箱专用氧分析仪价格，并通入高纯惰性气体，并循环过滤掉其中的活性物质的实验室设备。

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