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四川高纯供气厂家

更新时间:2022-10-06 15:42:32
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高纯气体的输送管路系统

随着微电子工业的发展,超大规模集成电路制造的硅片尺寸越做越大,要求半导体制造工艺中的气体品质相应越来越高,对气体中杂质和露1点要求极为严格,需要达到ppb、ppt级,尘埃粒径求控制小于0.1~0.05m的微粒,因此对高纯气体的输送管路系统提出了非常高的要求 。

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高纯供气系统


本公司生产的RZ-YA-D系列全自动气纯化装置功能说明:

A、具有全自动功能,使用操作简单,开、停机只需按两个按钮,不需扭动任何阀门,这些工作都由PLC程序自动进行;这还克服了手动和半自动机型因人为操作失误引起的气体不纯,高纯供气厂家,因此纯气质量也更加稳定。

B、控制文本显示器采用合资品牌-昆仑通泰7吋液晶触摸屏,实时模拟显示工作流程状态和各种参数显示,并随时可以实现各参数的修正,极大的方便工作人员的操作。

C、可根据用户需要配备在线分析仪,时时在线监测。







高纯供气系统

持续和及时。集中供气系统采用手动、半自动或全自动切换系统,平时每个供气源为一开一备状态,可根据仪器工作条件对局部或整体气体压力、流量进行调节,能保证仪器用气的流量和压力的稳定性、持续性,也能保证量值传递不发生变化。

扩展性灵活。集中供气管道上可预留接气点以及能够扩展的点,并安装控制开关或堵头,方便扩展。所有用气的仪器前端均装控制阀。因此,可以在不影响其他仪器正常工作的情况下,扩展新的用气端点。



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