手套箱故障分析

一、循环启动不了

1. 工作气压力是否在0.4-0.6MPa之间；

2. 高真空挡板阀电磁开关反馈是否正常；

3. 压力传感器是否显示正常；

4. 风机空开是否跳闸；

5. 风机变频器是否正常；

6. 点循环后，继电器是否同时亮两个。

二、再生按钮不起作用

1. 需输入密码；

2. 真空泵未打开；

3. 此净化柱正在循环（再生和循环不能同时在一个净化柱上）。

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手套箱常见故障及解决办法

1循环无法开启

原因：电压不稳造成变频器保护，导致无法开启循环。

办法：等电压稳定后重启手套箱即可解决。

2再生时用气量远小于从前

原因：手套箱内有机1溶剂含量过高，循环时有机1溶剂进入循环系统，再生时有机1溶剂堵塞再生气管路上的单向阀所致。

办法：①将单向阀换为直通阀，从此再生压力设置为0.03~0.04Mpa；②观察再生气流量计显示是否在20ml/min左右，否则调整减压阀压力。

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真空热蒸发镀膜工艺

OLED器 件需要在高真空腔室中蒸镀多层有机薄膜和金属电极，薄膜的质量关系到器件质量和寿命。在有机真空腔室中设有多个放置有机材料的蒸发舟，加热蒸发舟蒸镀有机 材料；在金属真空腔室中设有多个放置金属电极的蒸发舟，金属蒸发舟常采用钼、钽和钨等材料制作，电极材料有Mg/Ag、Mg:Ag/Ag、Li/Al、 LiF /Al等，通常是使用低功函数的活泼金属。ITO玻璃基板放置在可加热的旋转样品托架上，其下面放置的金属掩膜板控制蒸镀图案，并利用石英晶体振荡器来控 制膜厚。

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