高纯气体的输送管路系统

随着微电子工业的发展，超大规模集成电路制造的硅片尺寸越做越大，要求半导体制造工艺中的气体品质相应越来越高，对气体中杂质和露1点要求极为严格，需要达到ppb、ppt级，尘埃粒径求控制小于0.1～0.05m的微粒，因此对高纯气体的输送管路系统提出了非常高的要求 。

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高纯供气系统

本公司生产的RZ-YA-D系列全自动气纯化装置功能说明：

A、具有全自动功能，使用操作简单，开、停机只需按两个按钮，不需扭动任何阀门，这些工作都由PLC程序自动进行；这还克服了手动和半自动机型因人为操作失误引起的气体不纯，高纯供气厂家，因此纯气质量也更加稳定。

B、控制文本显示器采用合资品牌-昆仑通泰7吋液晶触摸屏，实时模拟显示工作流程状态和各种参数显示，并随时可以实现各参数的修正，极大的方便工作人员的操作。

C、可根据用户需要配备在线分析仪，时时在线监测。

高纯供气系统

持续和及时。集中供气系统采用手动、半自动或全自动切换系统，平时每个供气源为一开一备状态，可根据仪器工作条件对局部或整体气体压力、流量进行调节，能保证仪器用气的流量和压力的稳定性、持续性，也能保证量值传递不发生变化。

扩展性灵活。集中供气管道上可预留接气点以及能够扩展的点，并安装控制开关或堵头，方便扩展。所有用气的仪器前端均装控制阀。因此，可以在不影响其他仪器正常工作的情况下，扩展新的用气端点。

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