小流量气体净化系统
高纯供气系统主要应用于钢瓶气、管道气及气体发生器等的高纯连续供气,应用于超微量水、氧分析仪、气相色谱仪、常压离子质谱仪等各类气体分析仪器纯化载气或零点气,也可用于超高纯度气体管道安装施工中的吹扫气体,更可以为半导体工艺设备提供超高纯的工艺气体。
气体净化系统根据需求采用常温或者高温吸附剂,电化学抛光316L不锈钢管件,出气口配置微米过滤器,其气体纯化指标达到各项杂质含量小于1ppb的世界先进水平。
气体配比仪采用质量流量计,高纯供气系统,电化学抛光316L不锈钢管件,双卡套或者VCR气体接头。
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大宗特气供气系统介绍
大宗特气供气系统主要针对大规模量产的8-12英寸(1英寸=25.4毫米) 超大规模集成电路厂(气体种类包括SiH4、N2O、2、 C2F6、 NH3等),100MW以上的太阳能电池生产线(气体种类包括NH3),发光二极管的磊晶工序线(气体种类包括NH3)、5代以上液晶显示器工厂(气体种类包括4、3、NF3)、光纤(气体种类包括SiCl4)、硅材料外延生产线(气体种类包括HCL)等行业。它们的投资规模巨大,高纯供气系统生产厂家,采用1先进的工艺制程设备,用气需求量大,对稳定和不间断供应、纯度控制和安全生产提出严格的要求。
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实验室气体管道设计要求
了解实验室设计的都知道:实验室的任何的设计都是有规格要求的,出了这个要求的范围那么实验室的设计就有漏洞,就不合格,就容易发生事故。实验室的气体的排放是非常重要的,如果说实验室气体管道设计不合理,高纯供气系统价格,工作人员就容易出事,高纯供气系统厂家,甚至严重的就会有生命危险。
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