实验室集中供气的优点

1、保持气体纯度

2、不间断气体供应：系统可以以手动方式和自动方式在气瓶之间进行切换，保证气体连续供应

3、低压警示：当气压低于警报限时，报警装置可自动启动报警

4、气体压力稳定：系统采用两级减压方式供气，可得到非常稳定的压力

5、率：通过供气控制系统，可充分使用气瓶中的气体，减少残气余量，降低用气成本

6、操作简便：所有气瓶存放在同一位置，减少搬运安装的操作，节约时间和成本费用

7、无气瓶在实验室：可提高安全性、提高安全感、节省实验室操作空间

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实验室供气系统气体管路

实验室供气管路系统工程主要是为试实验室选用的分析设备提供量值和压力稳定的标准气体，保证其储存和使用的安全性。保障分析测试人员在实验中免受有毒有害气体的侵害。按照国标要求，将所用全部气体存放于储气间，并实现集中输送，组成中央供气系统。系统采用一拖一、一拖多、多拖一和多拖多的管道式输气方式，在一拖多时能够实现分段控制和在多拖一和多拖多时能够实现切换控制；并能够保证标准气体流量、压力稳定和量值传递不发生变化，满足分析检测设备对使用气体的技术要求。电子行业常用的特气超过三十余种，按危险性质可分为不燃气体、可燃气体、氧化性气体、腐蚀性气体、毒性气体等。

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电子特气系统的维护

由于特气系统是一种具有高风险的供应系统，因此在生产线现场的维护需要专业、有经验的技术员完成。特气系统的维护主要包含气体柜维护和管路维护。

（1）特气柜又分为全自动特气柜与半自动特气柜，每种气柜的维护方法有一定的区别。全自动气柜维护自动化程度较高，并且安全可靠。在维护前关闭钢瓶阀门，设置换瓶吹扫，程序自动进行抽气，置换等动作，根据气体性质的不同，一般至少吹扫60次以上，负压保压30分钟以上，确保气柜各管路与阀门吹扫干净。但是考虑安全和效率因素，不考虑经济性因素，集中供气系统是比较优1秀的方式。

（2）管路的维护，由于不同的气体性质不一样，对管路维护的方法也不相同，对腐蚀性气体的管道需要多次用高纯氮气吹扫（N2purge），一般至少反复30次，对于有吸附性的液态源气体，由于管路容易堵塞，需要多次的反复的抽真空，抽完后关闭阀门，1小时后会出现压力表回表的现象，会造成管道泄漏的误导，遇到此情况打开真空器发生器继续抽，直到没有吸附气体释放为止。大宗特气供气系统介绍大宗特气供气系统主要针对大规模量产的8-12英寸（1英寸=25。

以上两种系统维护后都必须做正压与负压的保压测试，一般正压保压压力为使用压力的1.2倍，负压保压为-12PSI，保压时间至少120分钟以上，由于压力传感器（PT）受温度的影响，一般有2PSI的正负波动。

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氦质谱检漏仪

随着科技的迅猛发展，氦质谱检漏仪及其应用技术也在不断发展和究善。各国的设备厂商相继推出了多种类烈的氦质谱检漏仪，广泛应用丁航空航天，电力电子，汽车等各个行业，综观1新氦质谱检漏仪的性能特点发现，氦质谱检漏仪正向着高灵敏度、自动化、宽程、等先进方向发展，这些特点很好地满足了当前检漏应用的需求，也极大地1推动了氮质谱检漏技术的不断发展。消除时间：是指从检漏方法停止（如停止喷吹示漏气体）到指示方法或仪器指示值下降到漏孔泄漏率的37%时所需的时间。